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减薄应用中,传统上优先选用成膜液态蜡,因其粘接力强,可承受强力剪切。

SiC 和蓝宝石晶圆远比硅晶圆难以减薄。高剪切强度的蜡粘合剂是此类晶圆减薄的首选。

BGF 蜡膜:提升减薄产能的新一代方案:

 

微米级及以上厚度

经验证可降低成本

高均匀性

 

GD-BGF-7090(及耐更高温的 GD-BGF-7160)可分别在 90°C / 160°C 下从成品晶圆剥离去除;带蜡一次性载体直接废弃,器件晶圆室温 IPA 轻松清洗

GD-BGF 7090 / GD-BGF 7160:柔性一次性载体蜡膜(专利申请中)

简化工艺、提升产能:免旋涂、免冗长干燥、载体免清洗,蜡性能同样出色 升温剥离去除:GD-BGF 7090 于 90°C,GD-BGF 7160 于 160°C ,器件晶圆室温 IPA 轻松清洗

 

GD-PRCL-200:新型熔融键合临时键合胶 剪切粘接强度出色 洁净剥离(PRCL)聚合物技术:无残留 = 免除减薄后清洗——撕下即弃,直接下一片 纯减薄应用(无后续加工)中胶层应尽量薄:AiT 蜡膜可薄至 3µm;PRCL 胶膜 10–20µm

可采用 TTV 受控的辊压贴合或传统压力-真空贴合设备,将其熔融贴敷于晶圆衬底。

上图:预涂于一次性载体的临时键合胶,中间为器件晶圆放置区;胶膜面积延伸超出晶圆直径,便于减薄后剥离。亦可用于带晶圆衬底的胶框同步装贴。

从蜡膜贴敷到成品解键合,工艺大幅简化,每小时减薄产能显著提升。

AIT 专利申请中的一次性载体熔融贴合临时键合胶经分子设计具备柔性:无论一次性载体与晶圆的 CTE 是否匹配,均不引入界面应力。免除旋涂、干燥与清洗,晶圆产能成倍提升。